EFG-7 / EGPS-2017
能量范圍：?50 eV 至 5k eV
光束電流：?1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?1 mm 至 100 mm
安裝：?2?CF，可拆卸選項
特性/選項：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈沖
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光束電流：?1 nA 至 100 μA
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安裝：?2?CF，可拆卸選項
特性/選項：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈沖