EGF-6104 / EGPS-6104
能量范圍：?1 keV 至 50 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 200 μA/15 mm 至 50 mm
高電流：10 nA 至 1 mA/15 mm 至 50 mm
安裝：?2?CF
特性/選項：可調光束操作時對準、廣角均勻光束、發散控制、靜磁偏轉、光束清洗、自定義孔徑、雙網格脈沖
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安裝：?2?CF
特性/選項：可調光束操作時對準、廣角均勻光束、發散控制、靜磁偏轉、光束清洗、自定義孔徑、雙網格脈沖