EGG-3101 / EGPS-3101

能量范圍：?100 eV 至 10 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 100 μA/標準：0.5 mm 至 25 mm
小光斑選項：1 nA 至 10 μA/60 μm 至 10 mm
高電流選項：1 μA至 1 mA/高電流選項：1.5 mm 至 25 mm
安裝：?2?CF
特性/選項：操作時可調節(jié)光束對準、準直光束、靜電聚焦和偏轉、消隱、脈沖、光柵、安裝氣動法拉第杯