EGH-6002 / EGPS-6002
能量范圍：?1 keV 至 50 keV
光束電流：?10 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?0.5 mm 至 100 mm
安裝：?4?CF 或 6CF
特性/選項：操作時內部對準、靜磁聚焦和偏轉、磁透鏡、脈沖
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光束電流：?10 nA 至 100 μA
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特性/選項：操作時內部對準、靜磁聚焦和偏轉、磁透鏡、脈沖