EGH-6210 / EGPS-6210

能量范圍：?1 keV 至 60 keV
光束電流：?10 μA 至 5 mA
光斑尺寸：?50 μm 至 10 mm
安裝：?2?CF
特性/選項(xiàng)：操作時(shí)內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)、靜磁聚焦、偏轉(zhuǎn)和光束整形、脈沖、差分泵浦