EGH-8100/ EGPS-8100

能量范圍：?1 keV 至 100 keV
光束電流：?10 nA 至 1 mA（脈沖光束高達 20 mA）
光斑尺寸：?3 mm 至 100 mm
系統安裝法蘭：?6CF
渦輪泵安裝法蘭：?4?CF
儀表安裝法蘭：?(3) 2?CF
特性/選項：運行時內部對準、泛光光束、脈沖、高電流脈沖