EGH-8103 / EGPS-8103
能量范圍：?10 keV 至 100keV
射束電流/光斑尺寸：
標準：10 nA 至 100 μA/標準：60 μm 至 10 mm
高電流：10 nA 至 1 mA/高電流：500 μm 至 10 mm
安裝方式：?6CF 安裝
特性/選項：操作時可調節對準、靜磁聚焦和偏轉、磁透鏡、脈沖
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射束電流/光斑尺寸：
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安裝方式：?6CF 安裝
特性/選項：操作時可調節對準、靜磁聚焦和偏轉、磁透鏡、脈沖