EGH-8103 / EGPS-8103

能量范圍：?10 keV 至 100keV
射束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 100 μA/標(biāo)準(zhǔn)：60 μm 至 10 mm
高電流：10 nA 至 1 mA/高電流：500 μm 至 10 mm
安裝方式：?6CF 安裝
特性/選項(xiàng)：操作時(shí)可調(diào)節(jié)對(duì)準(zhǔn)、靜磁聚焦和偏轉(zhuǎn)、磁透鏡、脈沖