EGH-8105 / EGPS-8105
能量范圍：?1 keV 至 100 keV
光束電流：?50 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?10 mm 至 500+ mm
安裝：?6CF
特性/選項(xiàng)：操作時(shí)可調(diào)節(jié)光束對(duì)準(zhǔn)、均勻泛光光束、用于均勻光斑的光束清洗、靜電聚焦, 磁偏轉(zhuǎn), 脈沖, 光柵
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