EGH-8105 / EGPS-8105
能量范圍：?1 keV 至 100 keV
光束電流：?50 nA 至 100 μA
光斑尺寸：?10 mm 至 500+ mm
安裝：?6CF
特性/選項：操作時可調節光束對準、均勻泛光光束、用于均勻光斑的光束清洗、靜電聚焦, 磁偏轉, 脈沖, 光柵
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特性/選項：操作時可調節光束對準、均勻泛光光束、用于均勻光斑的光束清洗、靜電聚焦, 磁偏轉, 脈沖, 光柵