EGH-8201 / EGPS-8201
能量范圍：?10 keV 至 100 keV
光束電流：?10 nA 至 1 mA（脈沖至 20 mA）
光斑尺寸：?1 mm 至 100 mm
安裝：?6CF
特性/選項：靜磁聚焦和偏轉(zhuǎn)、脈沖、差分泵、內(nèi)部對準(zhǔn)同時操作
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特性/選項：靜磁聚焦和偏轉(zhuǎn)、脈沖、差分泵、內(nèi)部對準(zhǔn)同時操作