ELG-2 / EGPS-1022
能量范圍：?1 eV 至 2k eV
光束電流：?1 nA 至 10 μA
光斑尺寸：?0.5 mm 至 5 mm
安裝：?2?CF，可拆卸選項
特性/選項：用于能量掃描、偏轉、光柵化、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦
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特性/選項：用于能量掃描、偏轉、光柵化、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦