EMG-4193 / EGPS-4190 / COPS-4190
帶有匹配的 EGPS-4190 電源和 COPS-4190 柱光學(xué)裝置的 EMG-4193 電子槍是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可隨時(shí)連接到用戶的真空系統(tǒng)。可選的光發(fā)射可以通過系統(tǒng)獨(dú)特的視口聚焦用戶提供的電磁輻射源來實(shí)現(xiàn)。EMG-4193 可以提供能量從 1 keV 到 30 keV 和電流從 1 nA 到 10 μA 的電子。該槍使用 (LaB?6?) 陰極提供小至 25 μm 的小光斑，使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)千小時(shí)。還可以對(duì)光束進(jìn)行光柵化以對(duì)目標(biāo)成像。應(yīng)用包括表面物理和真空物理實(shí)驗(yàn)。
能量范圍：?1 keV 至 30 keV
光束電流：?1 nA 至 10 μA
光斑尺寸：?25 μm 至 500 μm
安裝：4?CF
特性/選項(xiàng)：光發(fā)射、操作時(shí)內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)、靜電聚焦、四極對(duì)準(zhǔn)、八極偏轉(zhuǎn)/光柵/象散器、光束消隱、差分泵浦
