EMG-4212 / EGPS-3212
能量范圍:?1 keV 至 20 keV
光束電流/光斑尺寸:
標準:10 nA 至 100 μA/標準:0.5 mm 至 25 mm
小光斑選項:1 nA 至 10 μA/100 μm 至 10 mm
高電流選項:1 μA至 1 mA/高電流選項:1.5 mm 至 25 mm
安裝:?4?CF
特性/選項:操作時內部對準、準直光束、靜電聚焦和偏轉、光柵、脈沖、消隱
能量范圍:?1 keV 至 20 keV
光束電流/光斑尺寸:
標準:10 nA 至 100 μA/標準:0.5 mm 至 25 mm
小光斑選項:1 nA 至 10 μA/100 μm 至 10 mm
高電流選項:1 μA至 1 mA/高電流選項:1.5 mm 至 25 mm
安裝:?4?CF
特性/選項:操作時內部對準、準直光束、靜電聚焦和偏轉、光柵、脈沖、消隱