EMG-4215 / EGPS-4215
能量范圍：?1 keV 至 30 keV
光束電流：?1 nA 至 5 mA
光斑尺寸：?0.5 mm 至 25 mm 準直或泛光
安裝：?4?CF
特性/選項：操作時內部光束對準、準直光束、靜電聚焦和偏轉、脈沖、消隱、光柵化
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