美國kimball physics IGS-4 / IGPS-2014離子槍系統 2022年10月28日 IGS-4 / IGPS-2014 能量范圍：?50 eV 至 5 keV 光束電流：?1 nA 至 2 μA 光斑尺寸：?<1 mm 至 20 mm 工作距離：?10 mm 至 200 mm Kimball Physics Kimball 離子槍 低能量離子槍 光柵化離子槍 離子槍 離子槍系統 離子源 脈沖離子槍 高能量離子槍
