ILG-6 / IGPS-1016
能量范圍：?10 eV 至 1 keV
光束電流：?1 nA 至 100 nA
光斑尺寸：?1 mm 至 5 mm
工作距離：?10 mm 至 200 mm
安裝：?2.75″CF 或可拆卸
功能/選項：可聚焦、變焦鏡頭、恒定光斑超過能量范圍、偏轉、光柵、脈沖
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光束電流：?1 nA 至 100 nA
光斑尺寸：?1 mm 至 5 mm
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安裝：?2.75″CF 或可拆卸
功能/選項：可聚焦、變焦鏡頭、恒定光斑超過能量范圍、偏轉、光柵、脈沖