能量范圍:?1?keV?to?100?keV

束流范圍：10nA到1mA（脈沖模式可達20mA)

光斑尺寸:3mm到100mm

安裝方式:系統安裝法蘭：6CF；渦輪泵安裝法蘭：4?CF，計量器安裝法蘭：(3)?2?CF
特點：操作時內部對齊，寬角束流，脈沖，高束流脈沖

可選陰極：

插入深度：

其他定制需求：端口對準器