EGG-3103 / EGPS-3103

能量范圍：?100 eV 至 10 keV
光束電流/光斑尺寸：
標準：1μA 至 10 mA / 標準：1.5 mm 至 20 mm
高電流：5 mA 至 50 mA / 高電流：5 mm 至 25 mm
安裝：?2?CF
特性/選項：聚焦、高電流、偏轉、光柵