EMG-4212 / EGPS-4212

能量范圍：?1 keV 至 30 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 100 μA/標(biāo)準(zhǔn)：0.5 mm 至 25 mm
小光斑選項(xiàng)：1 nA 至 10 μA/100 μm 至 10 mm
高電流選項(xiàng)：1 μA至 1 mA/高電流選項(xiàng)：1.5 mm 至 25 mm
安裝：?4?CF
特性/選項(xiàng)：操作時(shí)內(nèi)部對(duì)準(zhǔn)、準(zhǔn)直光束、靜電聚焦和偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖、消隱