EMG-4215 / EGPS-4215
能量范圍：?1 keV 至 30 keV
光束電流：?1 nA 至 5 mA
光斑尺寸：?0.5 mm 至 25 mm 準(zhǔn)直或泛光
安裝：?4?CF
特性/選項(xiàng)：操作時(shí)內(nèi)部光束對(duì)準(zhǔn)、準(zhǔn)直光束、靜電聚焦和偏轉(zhuǎn)、脈沖、消隱、光柵化
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光束電流：?1 nA 至 5 mA
光斑尺寸：?0.5 mm 至 25 mm 準(zhǔn)直或泛光
安裝：?4?CF
特性/選項(xiàng)：操作時(shí)內(nèi)部光束對(duì)準(zhǔn)、準(zhǔn)直光束、靜電聚焦和偏轉(zhuǎn)、脈沖、消隱、光柵化