美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),EGA-1012 / EGPS-1012

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進行控制TM計算機接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達 10-11托。

根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項，包括：

    1. 氧化鋇盤（BaO，低光，低能量擴散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅固耐用，真空度高達 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來）
    3. 鉭盤陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達 5 keV）、中等能量（高達 30 keV）和高能量（高達 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

低能耗系統(tǒng)，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個低能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

型號 #： EGA-1012 EGPS-1012

描述

大電流、中等直徑、低能量電子束

5 eV 至 1000 eV

應(yīng)用：

功能/選項：

  • 光束電流高達 2mA
  • Feedback Stabilized Emission Current
  • 用戶可更換的點火裝置
  • UHV 兼容 / 可烘烤
  • 電腦 / 遙控器
  • 光束脈沖選項

能量范圍：5 eV 至 1k eV
光束電流：1 μA 至 2 mA
光斑尺寸：10 mm 至 25 mm（無聚焦能力）
安裝：2.75“ CF
特點/選項：泛光光束、脈沖、雙網(wǎng)格

Kimball Physics EGA-1012 電子槍及其配套的 EGPS-1012 電源，旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實驗、表面物理和需要低能量高束流的加工應(yīng)用。它是一個完整的子系統(tǒng)，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光束發(fā)散度都是可獨立調(diào)節(jié)的。EGA-1012 電子槍使用空間電荷受限的氧化物涂層陰極來產(chǎn)生均勻的泛光光束。這種設(shè)計允許產(chǎn)生低能量和極低電流的光束。

全程采用 UHV 技術(shù)。電子槍可在高達 350°C 的溫度下烘烤，無需電纜。使用法拉第杯時，最大值為 65oC 除非被刪除。

標準陰極是一個大電流、堅固的釔涂層圓盤 （Y2O3).陰極在寒冷時不會因反復(fù)暴露在大氣氣體或水蒸氣中而損壞。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 到 10-5托。陰極壽命是真空條件和束流與陰極溫度相關(guān)的函數(shù)。在良好真空下，低電流下的陰極壽命可能長達數(shù)百小時，甚至超過一千小時。


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