美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),EGL-2022 / EGPS-2022

美國(guó)Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),低能耗（最大 5 keV),EGL-2022 / EGPS-2022

Kimball Physics?電子槍（束流）系統(tǒng)通常包括一個(gè)匹配的電源，以提供完整的子系統(tǒng)，該子系統(tǒng)可以連接到用戶的真空硬件并打開(kāi)。

許多系統(tǒng)上的束流能量、束流和光斑大小都可以在其寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)，并且可以使用可選的 Labview 進(jìn)行控制TM計(jì)算機(jī)接口。

我們的大多數(shù)系統(tǒng)在真空條件下都兼容 UHV（超高真空），最高可達(dá) 10-11托。

根據(jù)系統(tǒng)的不同，可以使用各種陰極選項(xiàng)，包括：

    1. 氧化鋇盤(pán)（BaO，低光，低能量擴(kuò)散，最小真空度 1×10-7托爾）
    2. 釔涂層銥片 （Y2O3銥，堅(jiān)固耐用，真空度高達(dá) 10-4Torr，可能在短暫的真空損失中幸存下來(lái)）
    3. 鉭盤(pán)陰極
    4. 單晶六硼化鑭?（LaB6， 小光斑， 高亮度， 最小真空度 1×10-7托爾）

Kimball Physics 的產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展成為范圍廣泛的電子束系統(tǒng)，我們將其武斷地描述為低能量（高達(dá) 5 keV）、中等能量（高達(dá) 30 keV）和高能量（高達(dá) 100 keV）系統(tǒng)。許多系統(tǒng)都是從定制項(xiàng)目中誕生的，這仍然是我們關(guān)注的很大一部分。

低能耗系統(tǒng)，能量范圍為 1 eV 至 5 keV，電流范圍為 1 nA 至 2 mA，光斑尺寸為 0.5 mm 至 100 mm。

下表提供了電子槍系統(tǒng)規(guī)格以及每個(gè)低能電子槍系統(tǒng)的典型應(yīng)用和功能的比較。

 

型號(hào) #： EGL-2022 EGPS-2022

描述

能量掃描：恒定束流和近似恒定光斑尺寸的電子束

50 eV 至 5 keV

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 能量范圍廣
  • Constant Beam Current
  • 恒定光斑大小
  • 變焦鏡頭對(duì)焦
  • 高速脈沖
  • 偏轉(zhuǎn)、柵格化
  • 電腦 / 遙控器

能量范圍：50 eV 至 5 keV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 10 mm
安裝：2.75“CF
特點(diǎn)/選項(xiàng)：用于能量掃描、偏轉(zhuǎn)、光柵、高速脈沖的變焦鏡頭聚焦

Kimball Physics EGL-2022 電子槍及其配套的 EGPS-2022 電源可應(yīng)用于各種表面物理、電離、電荷中和和其他真空物理研究。它是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，隨時(shí)可以連接到用戶的真空系統(tǒng)并啟動(dòng)。

光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。能量從 50 eV 到 5 keV 不等，束流從 1 nA 到 100 μA。通過(guò)使用多級(jí)和計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)的電子變焦鏡頭，在能量的兩個(gè)數(shù)量級(jí)變化上保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。電子槍使用單電位陰極產(chǎn)生低能量擴(kuò)散光束。

槍設(shè)計(jì)可以包括一個(gè)正偏置的加速度網(wǎng)格，以增強(qiáng)發(fā)射和準(zhǔn)直光束。通常對(duì)此網(wǎng)格單元施加負(fù)電位，以準(zhǔn)直光束、抑制發(fā)射并切斷光束。

全程采用 UHV 技術(shù)。該噴槍可以在 10 級(jí)真空中運(yùn)行-11torr 最多 10-5torr 用于標(biāo)準(zhǔn) Ta 盤(pán)陰極。電子槍可在 350°C 下工作，無(wú)需電纜。


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