美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量（最大 30 keV),EGG-3101 / EGPS-3101

美國Kimball Physics,電子槍系統(tǒng),中等能量（最大 30 keV),EGG-3101 / EGPS-3101

Kimball Physics 是電子槍（束）系統(tǒng)的領(lǐng)先供應(yīng)商，其設(shè)計(jì)適用于各種超高真空 （UHV） 表面物理、空間物理和加工應(yīng)用。噴槍可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射線生產(chǎn)、焊接和 RHED 等應(yīng)用;或用于泛光束，用于電荷中和、電子束擦洗、空間模擬和輻射損傷研究。

操作范圍

  • 能量范圍：1 eV 至 100 keV
  • 光束電流范圍：1 nA 至 20 mA
  • 光斑尺寸范圍：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

  • 束流穩(wěn)定性：反饋穩(wěn)定發(fā)射電流控制;優(yōu)于每小時(shí) ± 0.1%
  • 能量穩(wěn)定性：±每小時(shí) 0.01%，全輸出時(shí)每 8 小時(shí)± 0.02%，以最大限度地減少色差

方便

  • 客戶可更換的點(diǎn)火裝置
  • 全運(yùn)行期間的機(jī)械對中
  • 可存儲控件設(shè)置
  • 電腦遙控器/計(jì)量

運(yùn)營能力

型號 #： EGG-3101 EGPS-3101

描述

小光斑準(zhǔn)直光束，運(yùn)行期間對準(zhǔn)，更高電流選項(xiàng) – 高達(dá) 1 mA

100 eV 至 10 keV

應(yīng)用：

功能/選項(xiàng)：

  • 全新模塊化設(shè)計(jì)
  • 運(yùn)行時(shí)的內(nèi)部對中
  • 準(zhǔn)直梁
  • 小光斑選項(xiàng)
  • 高達(dá) 1 mA 的更高電流選項(xiàng)
  • 靜電聚焦和偏轉(zhuǎn)
  • 消隱、脈沖、光柵
  • 可旋轉(zhuǎn) 2.75 英寸 CF 安裝
  • UHV 兼容且可烘烤
  • 電腦 / 遙控器
  • 法蘭多路復(fù)用器靈活性
  • 用戶可更換的點(diǎn)火裝置
  • 安裝式氣動法拉第杯

能量范圍：100 eV 至 10 keV
光束電流/光斑尺寸：
標(biāo)準(zhǔn)：10 nA 至 100 μA / 標(biāo)準(zhǔn)：0.5 mm 至 25 mm
小光斑選項(xiàng)：1 nA 至 10 μA / 60 μm 至 10 mm
高電流選項(xiàng)：1 μA 至 1 mA / 大電流選項(xiàng)：1.5 mm 至 25 mm
安裝：2.75“ CF

Kimball Physics EGG-3101 電子槍及其匹配的 EGPS-3101 電源是一種多用途模塊化電子槍，應(yīng)用范圍廣泛。EGG-3101 / EGPS-3101 是一個(gè)完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并啟動。

使用六硼化鑭陰極的小光斑選項(xiàng)，該噴槍可提供低至 60?μm 的光斑。使用大電流選項(xiàng)，可以獲得高達(dá) 1 mA 的光束電流。

該槍能夠產(chǎn)生準(zhǔn)直小點(diǎn)或泛光電子束。束流、束流能量和光斑尺寸都可以在很寬的范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié)。能量可以在 100 eV 到 10 keV 之間變化。光束電流和光斑尺寸范圍取決于規(guī)格表中所示的系統(tǒng)選項(xiàng)。脈沖、光束消隱和光柵也作為選項(xiàng)提供。

該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋入組件，當(dāng)噴槍在光束打開的情況下以全電壓運(yùn)行時(shí)，允許點(diǎn)火裝置相對于陽極和柱的機(jī)械對準(zhǔn)。

EGG-3101 的模塊化設(shè)計(jì)允許用戶更換閃光裝置組件或鏡頭組件。點(diǎn)火裝置（包括陰極、陰極支架和 Wehnelt 孔徑）可由用戶更換，無需將噴槍從真空室中取出。陽極也很容易更換。此外，陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)，以改變電子束的空間電荷效應(yīng)或透視。


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