美國 Kimball Physics 電子槍 電子束發生系統 EMG-4193 EGPS-4190 COPS-4190
描述:
中等能量、小光斑尺寸的電子束
1keV至30keV
應用:
表面物理學
真空物理實驗
功能/選項:
新型模塊化設計
照片發射選項
運行中的內部對齊
靜電聚焦
四極桿對齊
八極偏轉/光柵/消像散器
光束消隱
內聯法拉第杯
內部磁屏蔽
差動泵
小斑點低至25μm
束流1 nA至10 uA
特高壓兼容/可烘烤
計算機/遠程控制
用戶可更換的發射裝置
能量范圍:1keV至30keV
束流:1 nA至10μA
光斑尺寸:25μm至500μm
安裝:4.5英寸(4?英寸)CF
EMG-4193電子槍配有匹配的EGPS-4190電源和COPS-4190柱光學單元,是一個完整的子系統,可以連接到用戶的真空系統。通過系統獨特的視口聚焦用戶提供的電磁輻射源,可以實現可選的光發射。EMG-4193可以輸送能量為1keV至30keV、電流為1nA至10μA的電子。該槍使用(LaB6)陰極提供低至25μm的小點,壽命可達數千小時。還可以對光束進行光柵化,以對目標進行成像。應用包括表面物理和真空物理實驗。
該槍的可調光學元件包括兩個聚焦透鏡以及三個四極桿對準和兩個八極偏轉元件。該槍還具有可調節的饋通組件,允許在槍運行時對發射單元進行機械對準。
該槍有一個消隱元件,可以將電子束轉移到一個直列法拉第杯中。該系統用于測量柱中的束流。消隱器提供了一種在槍運行時切斷光束的方法,也可用于脈沖。