Kimball 高能電子槍 EGH-6210 EGPS-6210 可聚焦高能電子束，光斑尺寸小至 50 μm 半導(dǎo)體研究 X 射線生成

應(yīng)用：

功能/選項：

  • 小光斑尺寸低至 50 μm
  • 中等電流束至 5 mA
  • 高達 10 mA 的高電流束
  • 靜磁聚焦
  • 靜磁光束整形（可選）
  • 靜磁偏轉(zhuǎn)
  • 脈沖能力
  • 運行期間的內(nèi)部對準(zhǔn)
  • 差速泵送

用戶可更換的點火裝置

能量范圍：1 keV 至 60 keV
光束電流：10 μA 至 5 mA
光斑尺寸：50 μm 至 10 mm
安裝：2.75 英寸（23/4）CF

Kimball Physics EGH-6210 電子槍及其匹配的 EGPS-6210 電源是一個完整的子系統(tǒng)，可連接到用戶的真空系統(tǒng)并打開。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)傳遞電子。EGH-6210 可應(yīng)用于空間材料測試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、X 射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。

該槍使用單晶六硼化鑭 （LaB6） 陰極產(chǎn)生高能、可聚焦的小光斑電子束。束流能量和束流都可以在很寬的范圍內(nèi)獨立調(diào)節(jié);能量從 1 keV 到 60 keV，電流從 10 μA 到 5 mA。電子束可以通過控制網(wǎng)格的輸入信號進行脈沖傳輸。

噴槍的可調(diào)節(jié)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和一系列工作距離，適用于各種應(yīng)用。磁性聚焦透鏡可以將光斑尺寸從 10 mm 變?yōu)?50 μm。磁性定心和可選的整形線圈提供額外的電子束控制，允許用戶偏轉(zhuǎn)和塑造電子束。整形通常會產(chǎn)生橢圓形梁，其兩個軸都可以獨立壓縮或延伸。靜磁聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)整形四極桿都能產(chǎn)生低像差的結(jié)果。此外，陰極到陽極的間距可在內(nèi)部調(diào)節(jié)以改變磁長。

該噴槍具有可調(diào)節(jié)的陰極饋通組件，允許點火裝置相對于陽極和色譜柱進行機械對準(zhǔn)。這種對準(zhǔn)可以在噴槍在光束打開的情況下運行時實時完成。


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