美國(guó)kimball離子槍ILG-6 / IGPS-1016
Kimball Physics離子槍系統(tǒng)或離子源用于MBE的表面物理學(xué),空間物理學(xué),真空物理學(xué),電荷中和,檢測(cè)校準(zhǔn),二次離子質(zhì)譜和離子注入。
操作范圍
性能
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多功能性
運(yùn)作能力 |
能量范圍:?10 eV至1 keV
束電流:?1 nA至100 nA光
點(diǎn)尺寸:?1 mm至5 mm
工作距離:?10 mm至200 mm
安裝:?2.75“ CF或可拆卸
功能/選項(xiàng):可聚焦,變焦鏡頭,恒定點(diǎn)超出能量范圍,偏轉(zhuǎn),光柵,脈沖等
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