能量范圍:?10?keV?到?100?keV

束流范圍：10nA到1mA（脈沖可達(dá)20mA)

光斑尺寸:1mm到15mm

安裝方式:6CF法蘭

特點(diǎn)：磁聚焦和偏轉(zhuǎn)（雙棱鏡系統(tǒng)），脈沖，差分泵浦，閥門

插入深度：

其他定制需求：