Kimball直線(xiàn)轟擊型電子槍EGF-3104 / EGPS-3104
能量范圍：200 eV to 20 keV
束流范圍：1 nA to 100 μA / 10 nA to 1 mA
束斑范圍：15 mm to 50 mm / 15 mm to 50 mm
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