Kimball直線轟擊型電子槍EGG-3101 / EGPS-3101

• 能量范圍：100 eV to 10 keV
• 束流范圍：10 nA to 100 μA /?1 nA to 10 μA / ???1 μA to 1 mA
• 束斑范圍：0.5 mm to 25 mm / 60 μm to 10 mm / 1.5 mm to 25 mm