Kimball直線轟擊型電子槍EGG-3103 / EGPS-3103
能量范圍：100 eV to 10 keV
束流范圍：1μA to 10 mA / 5 mA to 50 mA
束斑范圍：1.5 mm to 20 mm / 5 mm to 25 mm
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