Kimball直線轟擊型電子槍EMG-4212 / EGPS-3212

能量范圍：1 keV to 20 keV
束流范圍：10 nA to 100 μA / 1 nA to 10 μA / 1 μA to 1 mA
束斑范圍：0.5 mm to 25 mm / 100 μm to 10 mm / 1.5 mm to 25 mm