應用：
功能/選項：
能量范圍：50 eV 至 5k eV
光束電流：1 nA 至 100 μA
光斑尺寸：1 mm 至 100 mm
安裝：2.75 英寸（23/4 英寸）CF，可拆卸選項
特點/選項：泛光光束或窄角光束、靜電聚焦、偏轉、光柵、脈沖
Kimball Physics EFG-7 電子槍及其匹配的 EGPS-2017 電源旨在用于各種超高真空 （UHV） 物理實驗、表面物理實驗和加工應用。它是一個完整的子系統，隨時可以連接和打開。光束能量、光束電流和光斑尺寸可在很寬的范圍內獨立調節。
EFG-7 電子槍使用難熔金屬陰極產生均勻的泛光光束。槍式設計允許產生低能量和極低電流的光束。5 keV 型 EFG-7 可產生 1 nA 至 100 μA 的束流和 50 eV 至 5 keV 的能量。
定心偏轉、光柵和脈沖均作為選項提供。由于該設計已優化為泛洪槍，并使用圓柱形 4 極偏轉器，因此當光束聚焦到一個小點時，偏轉像差可能會很嚴重。
全程采用 UHV 技術。該噴槍可以在 10 級真空中運行-11torr 最多 10-5torr 用于標準 Ta 盤陰極。電子槍可在去除電纜后烘烤至 350°C。
