Kimball 離子源 離子槍 IGS-4 / IGPS-2014
能量范圍：?50 eV 至 5 keV
光束電流：?1 nA 至 2 μA
光斑尺寸：?<1 mm 至 20 mm
工作距離：?10 mm 至 200 mm
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工作距離：?10 mm 至 200 mm