Kimball 離子源 ILG-6 / IGPS-1016

能量范圍：?10 eV 至 1 keV
光束電流：?1 nA 至 100 nA
光斑尺寸：?1 mm 至 5 mm
工作距離：?10 mm 至 200 mm
安裝：?2.75″CF 或可拆卸
功能/選項(xiàng)：可聚焦、變焦鏡頭、恒定光斑超過(guò)能量范圍、偏轉(zhuǎn)、光柵、脈沖