Kimball 離子源 離子槍 IMG-4212 / IGPS-3212
能量范圍：?1 keV 至 20 keV
光束電流：?1 nA 至 2 μA
光斑尺寸：?500 μm 至 25 mm
工作距離：?100 毫米至 1000 毫米
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工作距離：?100 毫米至 1000 毫米