能量范圍:?200?eV?to?20?keV

束流范圍以及光斑尺寸:?標準：1nA到10μA/15mm到50mm；高束流：100nA到1mA/15mm到50mm

安裝方式:?2?CF法蘭
特點：束流隊列調整，寬角度統一束流，分歧控制，磁力撓曲，束流清洗，定制孔徑光闌，脈沖，雙光柵