能量范圍:?1?keV?to?50?keV

束流范圍以及光斑尺寸:標準：10nA到200μA/15mm到50mm；高束流：10nA到1mA/15mm到50mm

安裝方式:?2?CF法蘭
特點：操作時可調束流對齊，寬角統一束流，散度控制，磁力偏轉，束流洗滌，客戶定制光闌孔徑，雙光柵脈沖

可選陰極：

插入深度：

其他定制需求：高束流（最大1mA），雙光柵脈沖（2us-DC）磁力偏轉（±20°），labview控制軟件，軟件光柵（須labview）端口對準器