能量范圍:?100?eV?to?10?keV

束流范圍以及光斑尺寸:?標(biāo)準(zhǔn)：1nA到100μA/0.5mm到25mm；小光斑尺寸選項(xiàng)：1mA到10μA/0.06mm到10?mm；大束流選項(xiàng)：100nA到1mA/1.5mm到25mm
安裝方式:?2?CF法蘭
特點(diǎn)：束流隊(duì)列調(diào)整，平行束流，電子聚焦，撓曲，切斷，脈沖，光柵，氣動法拉第杯

可選陰極：標(biāo)準(zhǔn)鉭，氧化釔（最高10-4托），氧化鋇（10-7托），六硼化鑭（最高10-7托）

插入深度：110或者160mm帶熄滅裝置，或者客戶定制

其他定制需求：硬件光柵發(fā)生器，雙脈沖光柵（2us-DC），高束流（見陰極部分），F(xiàn)C-2/PA-200法拉第杯，基礎(chǔ)labview控制軟件，軟件光柵發(fā)生器（須labview軟件），束流熄滅裝置2us-DC（增加脈沖俘獲裝置后可縮短脈沖寬度），脈沖俘獲（20ns-100ns，須熄滅裝置），端口對準(zhǔn)器柵，labview控制軟件，軟件光柵（須labview），端口對準(zhǔn)器（±2°）