能量范圍:?1?keV?to?50?keV

束流范圍：0.5mm到100mm

光斑尺寸:?100μm到10mm

安裝方式:?4?CF法蘭或者6CF法蘭
特點：操作時內調整，磁力聚焦和偏轉，磁力棱鏡，脈沖

可選陰極：

插入深度：

其他定制需求：高束流選項，小光斑尺寸選項（六硼化鑭，10-7托），雙光柵脈沖