能量范圍:?1?keV?to?60?keV

束流范圍：10μA到6mA

光斑尺寸:標準：50μm到10mm

安裝方式:?2?CF法蘭
特點：操作時內部對準，磁力聚焦，偏轉，束流整形，脈沖，差動泵浦

可選陰極：

插入深度：

其他定制需求：端口對準器