能量范圍:?10?keV?到?100?keV

束流范圍：50nA到100μA

光斑尺寸:10mm到500+mm

安裝方式:6CF法蘭

特點：操作時束流調整，統一寬角度束流，束流清洗，電聚焦，磁偏轉，脈沖，光柵

可選陰極：

插入深度：

其他定制需求：高束流選項（最大1mA），小光斑尺寸選項（六硼化鑭，10-7托），雙光柵脈沖（2us-DC）