奧地利 KML Linear Motion Technology 單軸解決方案 高速 LMS 最動態的運動 最高的定位精度 系統剛性高 最低的顆粒物排放
高速直線電機系統設計用作半導體制造機器中的進給軸，以實現卓越的生產率和工藝可靠性。
除了通常的客戶要求，如移動質量、行程范圍、周期定義等。必須考慮其他特性。例如，這些是：
- 極其緊湊的設計
- 最高的同步質量（齒槽效應）
- 免維護
- 快速調試
- 絕對位置反饋
- 用于客戶特定電纜的電纜管理
高速直線電機系統是專門為高定位精度的應用而開發的。它提供了使用定制滑塊和底板鉆孔模式的可能性，以滿足個別要求。此外，該系統采用潔凈室兼容設計，可在敏感環境中使用。為了便于初始調試，提供了一組參數，以實現快速高效的調試。
