Excimer Cavity Output Couplers (XOC)
激光腔輸出耦合鏡
- 193納米、248納米和308納米準分子激光器的輸出耦合器（腔內(nèi)）
- 氟化鈣或氟化鎂基質(zhì)
輸出波長為193納米、248納米和308納米的激光器是準分子激光器。這些波長可以在諸如微平版印刷術(shù)、微制造和醫(yī)療設(shè)備等應(yīng)用中找到。在這些波長下，推薦使用氟化鈣或氟化鎂襯底作為腔內(nèi)透射光學元件。輸出耦合器反射率可由用戶指定。請注意，Lambda的高質(zhì)量準分子激光腔涂層是為耐酸/耐氟而設(shè)計的。
| 材料: | 紫外線級MgF? 紫外線級CaF? |
| 表面質(zhì)量: | < 20 / 10 |
| 表面平整度: | < λ / 10 @ 633 nm |
| 直徑公差: | < + 0.00 / – 0.20 mm |
| 厚度公差: | < ± 0.25 mm |
| 通光孔徑: | >直徑的85% |
| 損壞閾值: | >1.2焦耳/厘米，10納秒 |
| 耐用性: | 符合MIL-C-675的附著力和磨損要求 |
選型參考：
| 尺寸 | 0.5英寸直徑x 3.0毫米t、20.0毫米直徑x 3.6mm毫米t、1.0英寸直徑x 3.0毫米t、36.0毫米直徑x 5.5毫米長，1.5英寸直徑x 5.5毫米長，2.0英寸直徑x 0.375英寸長 |
|---|---|
| 材料 | MgF2，紫外線級CaF2 |
| 反射率 | 25R、33R、50R、67R、75R |
| 波長 | 193納米、248納米、308納米 |
