美國(guó) Lattice Electro Optics Excimer Laser Cavity Optics 準(zhǔn)分子激光腔光學(xué)

?美國(guó) Lattice Electro Optics

Excimer Laser Cavity Optics

準(zhǔn)分子激光腔光學(xué)

 

參數(shù)

 
材料:VUV CaF2
平行度:< 3 arc min.
凈孔徑:> 80% of central dimension
倒角:0.3mm?′?45°
表面圖形:l/10 at 632.8nm
表面質(zhì)量:20-10 scratch-dig
功率:Up to 1-4 J/cm2

 


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