Ligero Technical Services 激光燒蝕系統 激光剝蝕系統 激光雕刻系統 固態激光器 自動光學成像系統 NWR193HE

高能193nm準分子激光源產生用于有效傳輸和電離的小顆粒，其通量足夠高，即使是最具彈性的基質（如石英、螢石）也能有效燒蝕，并能實現大而均勻的光斑尺寸，從而實現極低的檢測限值。