離子源:NGI3000

LK-Technologies強大,流行的離子源設計用于通過離子濺射清潔表面,光束能量高達3 keV,典型離子電流高達30μA。該噴槍采用了一種新穎的氣體噴射系統,該系統允許在典型的1×10?-6托的腔室壓力下進行濺射。

  • 專利的氣體注入系統避免了昂貴的差動泵送設備
  • 低室壓下的惰性氣體濺射
  • 寬離子束確保均勻濺射
  • 與普通濺射清潔和ISS應用兼容
  • 連續可調諧的電壓從200 V到3 kV
  • 帶USB或以太網接口的數字控制電子設備

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