LK Tech UHV表面科研系統:多探針分析系統

除了表面分析組件外,LK Technologies還專門設計和構建完整的特高壓系統,這些系統通常結合了LK組件和其他制造商的多種表面分析方法。

這些系統的常見元件是精密UHV室,主泵(通常是離子泵),輔助泵(通常是渦輪分子),精密樣品操縱器,安裝框架和真空計量。

多探針分析系統由XPS分析組成,包括X射線單色儀、半球分析儀、AES、ISS、多通道HREELS和帶快速樣品加載系統的全樣品制備室。


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