LK與 CHI-VAC 研發(fā)部門(mén)合作，提供各種 UHV 硬件產(chǎn)品，包括定制腔室、精密 XYZ 平臺(tái)以及各種運(yùn)動(dòng)和縱設(shè)備。LK還提供各種類型的樣品架、樣品加熱控制器和真空系統(tǒng)烘烤設(shè)備。
超高真空（UHV）腔體
- SUS304或316材質(zhì)
- 氬弧焊
- 噴砂或電拋光
- 泄漏率：<10?11 mbar.1/s
運(yùn)動(dòng)與操控
- 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器（波紋管式）
- 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器（磁耦式）
- 差分抽氣旋轉(zhuǎn)臺(tái)
- 標(biāo)準(zhǔn)直線驅(qū)動(dòng)器
- 微調(diào)直線驅(qū)動(dòng)器
- 重載直線驅(qū)動(dòng)器
- 推拉式直線驅(qū)動(dòng)器
- 電動(dòng)控制直線驅(qū)動(dòng)器
- Z 軸專用傳輸器
- 高精度 Z 軸專用傳輸器
- 重載型 Z 軸傳輸器
- XY 移動(dòng)平臺(tái)
- XYZ 操控器
- 高精度 XYZ 操控器
- 四軸樣品臺(tái)
- 低溫四軸樣品臺(tái)
樣品溫度控制器
LK 提供用于樣品加熱的溫度控制器，具備完整的 PID 控溫功能。標(biāo)準(zhǔn)熱電偶為 K 型，也可選配其他類型熱電偶。控制器采用可編程的 Watlow 控制系統(tǒng)，配有便捷的 USB 計(jì)算機(jī)接口和配套軟件。
多區(qū)段烘烤控制器（Bake Out Controller – Multizone）
LK 提供用于真空系統(tǒng)或其他烘烤應(yīng)用的多區(qū)段烘烤控制器。標(biāo)準(zhǔn)控制器可為 4 個(gè)加熱區(qū)供電，每個(gè)區(qū)段配有獨(dú)立的熱控開(kāi)關(guān)，整體最大功率可達(dá) 6 kW。系統(tǒng)溫度控制采用標(biāo)準(zhǔn) K 型熱電偶。我們還提供烘烤加熱器、配套布線、可拆卸框架及烘烤帳篷等附件。
