LK與 CHI-VAC 研發部門合作，提供各種 UHV 硬件產品，包括定制腔室、精密 XYZ 平臺以及各種運動和縱設備。LK還提供各種類型的樣品架、樣品加熱控制器和真空系統烘烤設備。

超高真空（UHV）腔體

• SUS304或316材質
• 氬弧焊
• 噴砂或電拋光
• 泄漏率：<10?11 mbar.1/s

運動與操控

• 旋轉運動驅動器（波紋管式）
• 旋轉運動驅動器（磁耦式）
• 差分抽氣旋轉臺
• 標準直線驅動器
• 微調直線驅動器
• 重載直線驅動器
• 推拉式直線驅動器
  

  

• 電動控制直線驅動器
• Z 軸專用傳輸器
• 高精度 Z 軸專用傳輸器
• 重載型 Z 軸傳輸器
• XY 移動平臺
• XYZ 操控器
• 高精度 XYZ 操控器
• 四軸樣品臺
• 低溫四軸樣品臺

樣品溫度控制器

LK 提供用于樣品加熱的溫度控制器，具備完整的 PID 控溫功能。標準熱電偶為 K 型，也可選配其他類型熱電偶。控制器采用可編程的 Watlow 控制系統，配有便捷的 USB 計算機接口和配套軟件。

多區段烘烤控制器（Bake Out Controller – Multizone）

LK 提供用于真空系統或其他烘烤應用的多區段烘烤控制器。標準控制器可為 4 個加熱區供電，每個區段配有獨立的熱控開關，整體最大功率可達 6 kW。系統溫度控制采用標準 K 型熱電偶。我們還提供烘烤加熱器、配套布線、可拆卸框架及烘烤帳篷等附件。